我们结合电子元器件制造过程中不同类别产品的优势,包含高纯度且质量稳定的特种电子气体、工艺成熟且品质优良的湿电子化学品、具有优异阻燃性能和良好耐热性能。
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池、光纤等工业生产不可缺少的基础性材料,广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
按电子气体的用途分类,包括反应气体、刻蚀气体、清洁气体和载气等。随着微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。
黎明化工研究设计院主要从事含氟电子气体的研发和生产,掌握多项居于世界先进水平的核心技术,并建成了国内规模领先的产业化装置。黎明化工研究设计院及洛阳黎明大成氟化工有限公司提供多种含氟气体,国内市场占有率处于领先地位,其中电子级六氟化硫国内市场占有率位居第一。蚀刻气体通常多为氟化物气体(卤化物类)。
中昊光明化工研究设计院主要从事电子化学气体、金属有机化合物、金属烷氧基化合物、金属氧化物等光电子、微电子材料领域的基础性源材料的研制开发,现已研制开发出电子化学气体20余种、金属有机化合物和金属氧化物粉体10余种;同时承担多项国家各类科研攻关项目。目前主要供应乙硼烷、砷烷、磷烷、硒化氢等烷类气体。乙硼烷、砷烷、磷烷主要用于离子注入等工艺中;硒化氢是一种重要的集成电路生产原材料,也可用于红外窗口材料制造。一氧化氮(NO)可用于化学气相沉积工艺,也可用于制作大气监测标准混合气。电子混合气广泛应用在集成电路生产的掺杂等生产工艺中。