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平板显示、太阳能电池

平板显示、太阳能电池

我们结合电子元器件制造过程中不同类别产品的优势,包含高纯度且质量稳定的特种电子气体、工艺成熟且品质优良的湿电子化学品、具有优异阻燃性能和良好耐热性能。

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池、光纤等工业生产不可缺少的基础性材料,广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。

按电子气体的用途分类,包括反应气体、刻蚀气体、清洁气体和载气等。随着微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。

黎明化工研究设计院主要从事含氟电子气体的研发和生产,掌握多项居于世界先进水平的核心技术,并建成了国内规模领先的产业化装置。黎明化工研究设计院及洛阳黎明大成氟化工有限公司提供多种含氟气体,国内市场占有率处于领先地位,其中电子级六氟化硫国内市场占有率位居第一。蚀刻气体通常多为氟化物气体(卤化物类)。

中昊光明化工研究设计院主要从事电子化学气体、金属有机化合物、金属烷氧基化合物、金属氧化物等光电子、微电子材料领域的基础性源材料的研制开发,现已研制开发出电子化学气体20余种、金属有机化合物和金属氧化物粉体10余种;同时承担多项国家各类科研攻关项目。目前主要供应乙硼烷、砷烷、磷烷、硒化氢等烷类气体。乙硼烷、砷烷、磷烷主要用于离子注入等工艺中;硒化氢是一种重要的集成电路生产原材料,也可用于红外窗口材料制造。一氧化氮(NO)可用于化学气相沉积工艺,也可用于制作大气监测标准混合气。电子混合气广泛应用在集成电路生产的掺杂等生产工艺中。

高纯六氟化硫

高纯六氟化硫

高纯六氟化硫(SF6)产品纯度已达99.999%(5N)。黎明院是国内较早研究开发六氟化硫生产工艺的单位,取得数十项技术研究及革新成果。产品质量完全达到了LCD、TFT等生产工艺的需要,并销往美国、韩国、台湾等国家和地区。高纯六氟化硫在微电子行业中的应用,主要可作为优良的蚀刻气体,在光导纤维制造中,可作为单膜光纤隔离层掺添剂,还可作为重要的激光材料用在激光技术中。

高纯三氟化氮

高纯三氟化氮

高纯三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。三氟化氮用于硅和氮化硅蚀刻时,具有更高的蚀刻速率和选择性,且在被蚀刻物表面不残留任何物质。高纯三氟化氮(NF3)主要用途,一是用作高能化学激光气的氟源,二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂,三是应用于太阳能光电产业。

高纯四氟化碳

高纯四氟化碳

高纯四氟化碳(CF4)是目前最主要的等离子体蚀刻气体之一,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀。

高纯六氟化钨

高纯六氟化钨

高纯六氟化钨(WF6)主要作为金属钨化学气相沉积工艺的原材料,应用于生产阻挡层和栅极填充材料,以及导电浆糊的原材料。

硒化氢

硒化氢

硒化氢是一种重要的集成电路生产原材料,也可用于红外窗口材料制造。

高纯氨

高纯氨

电子工业中氮化膜的成膜气体,是化学气相沉积重要的“氮”源。高纯氨主要应用于LED制造业,其中超高纯氨是第三代化合物材料氮化镓(GaN)的关键支撑材料; 在太阳能多晶硅电池、LCD显示屏行业也被使用,需求一般为5N-6N。

其他气体

其他气体

光明化工研究院供应电子混合气(常用蚀刻混合气、掺杂混合气、化学气相淀积(CVD)混合气、外延(生长)混合气、其他电子混合气)、高纯气(氯乙烯、溴甲烷、氯甲烷、1,3-丁二烯、异丁烯、反-2-丁烯、顺-2-丁烯、1-丁烯、异丁烷、正丁烷、环丙烷、丙二烯等)、标准混合气体(检漏混合气、消毒杀菌混合气、电光源混合气、保鲜混合气、焊接用混合气、特殊仪器用混合气、激光混合气等)。

 

电子混合气

高纯气

标准混合气体